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静電容量型加速度センサーの設計から試作・評価

【 研修概要 】

MEMS基礎から加速度センサーの基本動作原理について学習し,設計,製作,評価実習を通して理解を深める.(講義担当:京都大学工学研究科 土屋教授)

【 実施機関 】京都大学

【 研修期間 】 4日間

【 研修スケジュール 】 

1日目 MEMS基礎・加速度センサーの設計(講義・演習)
2日目 加速度センサーの設計(演習・マスク設計・有用要素解析)
3日目 デバイス製作
4日目 デバイス製作・評価

【 開催日 】2020年12月14日(月)~17日(木)(4日間)

【 定員 】 4名

【 費用 】 4万円/人:税込 旅費支給なし

【 応募締め切り 】 8月31日(月)

【対象要件・特記事項】英語対応可。講義は日本語で行います。

【 開催場所 】  〒606-8501  京都市左京区吉田本町   京都大学工学部物理系校舎327室 ナノテクノロジーハブ拠点

【 申込方法 】  申し込みアドレス

          京都大学 佐藤 <kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp>