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【中止】SEM-EDX測定実習会

基本情報

開催場所 自然科学研究機構 分子科学研究所 (明大寺キャンパス)
開催日時 2020年2月28日
定員 5名

コロナウイルスの件を受け、中止になりました。

【募集締め切りました】

目的:分子科学研究所に導入されているSEM-EDXは平成24年に補正予算で導入された装置であり、SEM本体は、日立ハイテクノロジーズ社製SU6600。10〜300Paの低真空観察に対応し、絶縁性試料を導電処理なしで観察可能となっている。分解能は、高真空1.2nm(30kV)、低真空3.0nm(30kV)。EDS分析装置は、BrukerAXS社製 XFlash5060FQ及びXFlash6|10。表面凹凸の影ができにくく高感度なEDS検出器を搭載しており、温度を-20〜50℃程度で変えられるステージも利用可能となっている。様々な特徴を有する装置ではあるものの、基本的な観察しか現在は支援できておらず、より詳細な分析支援を提供するために、日本全国のSEM担当者がサンプルを持ち合い、分子研のSEMで測定できる手法を駆使して様々な観測データを取得することを目的とする。

日時:2020年2月28日(金)9時半~17時

場所:分子科学研究所 明大寺キャンパス 実験棟

参加対象者:大学等の技術職員・技術支援員、学外共用になっているSEM装置の担当者

人数:5名 ※すでに参加者は決定済み

申し込みURL:https://eqnet-study.jp/form/semedx.html

<プログラム:1日実施案>

2月28日(金)

9:30~ 分子研SEMの装置紹介(外山 分子研)

9:40~実習

各参加者が持参した測定サンプルの紹介と、所属機関で測定したデータの紹介

【1.非導電性試料(ゼオライト等)の観察】 (富山大・平田)

【2.非導電性試料(金属含有のゼオライト等)の分析】(富山大・平田)

【3.非導電性薄膜のEDS分析】(富山大・平田)

【4.非導電性試料(粘板岩)の観察およびEDS分析】(山梨大・宮澤

12:00~13:00 昼休憩

13:00~引き続き実習

【5.非導電性サンプルに対する蒸着の影響解析、温度変化サンプルの測定】(長崎大・西村)

【6.カーボンテープにより試料を固定した際の試料載台・カーボンテープの影響について】 (函館高専・松井)

【7.粉末サンプル(アルコール分散)(分子研・外山)

16:30~総括(メンテナンスと分析に関するディスカッション:事前に質問を集める)

17:00 終了