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SEM / EDSセミナー

基本情報

開催場所 鳥取大学

【定員になりましたので、募集を締め切りました】

SEM / EDSセミナー  エネルギー分散型X線分析装置(EDS)の基本操作・制御ソフトウェアの活用

【目 的】エネルギー分散型X線分析装置(EDS)は、走査型電子顕微鏡(SEM)と組み合わせることで観察対象の微小領域の元素分析が可能であり、材料系をはじめ地質学や土木工学など様々な研究分野で使用されている。EDSの性能向上と制御PC及びソフトウェアの発展により、手軽かつ精確に観察対象の元素分析が可能となったが、自身が行いたい分析に合わせ制御ソフトウェアを使いこなすことがEDS分析を円滑に実施する上で重要な事項となっている。
申請者は1年程前から、鳥取大学の全学共通使用機器であるFE-SEM(日本電子 JSM-6701F)の管理等を担当している。SEMにおける観察までの基本操作はできるようになったが、観察対象に適した試料調製や観察条件の検討・設定などは現在も勉強中である。上記FE-SEMを扱う中で、EDS検出器が付属していることが判明したが、制御ソフトウェアの操作方法や分析における注意点などは不明であった。金属小片中の不純物検出の分析相談が来たこともあり、EDSが扱えるようになればより適切なアドバイスができ、研究の幅やスピードも向上すると考えられるため、EDS分析の基本から活用方法までの分析ノウハウを学ぶべく本セミナーを申請する。
 本セミナーは、SEMで試料を観察しEDSで元素分析を行うという一連の操作を通して、SEMの操作・条件設定の確認、そしてEDSの制御ソフトウェアの基本操作から応用分析のための活用方法などの分析ノウハウを得ることを目的とする。また、参加者が持つ知識・経験等の情報を共有することで、SEMによる像観察とEDSによる元素分析の技術醸成を図る。

【日 時】 2019年12月13日(金)13時00分~16時30分
【会 場】 鳥取大学 鳥取キャンパス 工学部D棟4階4604室
〒683-8550 鳥取県湖山町南4丁目101
【定 員】 3名
【対 象】 FE-SEMの基本操作ができる大学の技術職員、技術支援員、技術補佐員等、その他
レベル:初級~中級(オックスフォード・インストゥルメンツ社製のEDS検出器(ソフトウェアINCA)でマッピング等の分析ができる方、分析・観察経験者)
【機 器】 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)およびエネルギー分散型X線分析装置(EDS)
日本電子製JSM-6701F、オックスフォード・インストゥルメンツ社製INCAPentaFETx3
【主 催】 自然科学研究機構 分子科学研究所(大学連携研究設備ネットワーク)
【旅 費】 分子科学研究所支給あり(技術職員、技術支援員、技術補佐員のみ該当)
【申 込】 メールにてeqnet-office@ims.ac.jpへ申込
【申込締切】 2019年11月29日(金)

【プログラム】
12月13日(金) 鳥取大学 鳥取キャンパス 工学部D棟4階4604室 集合
13:00~ 自己紹介、現在の業務や課題などの情報共有等
13:15~ 装置立ち上げ、SEM観察の基本操作等の確認
13:45~ 観察及び分析、情報交換
14:15~ EDS分析制御ソフトウェア操作講習
15:30~ 撮影画像や分析結果、ソフトウェアの活用方法等について討論
16:30 終了

セミナーに関する質問は、以下までお願い致します。

大学連携研究設備ネットワーク事務局
〒444-8585
愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38
自然科学研究機構 分子科学研究所
機器センター(担当:大原)
TEL:0564-55-7431
FAX:0564-55-7448
e-mail : eqnet-office@ims.ac.jp