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バイオ&ナノ・マイクロデバイス実践セミナー(2018/10/12)~微細加工技術のバイオ分野への応用に向けて~

基本情報

地域 全国
開催場所 北海道大学、東北大学、東京大学、豊田工業大学、京都大学、大阪大学、広島大学、山口大学
開催日時 2018年10月12日  ~ 2019年3月31日
受付期限 2018年10月12日

 微細加工技術を利用して流路や分析チップなどを作製してみたいと考えるバイオ系研究者(医、薬、農、理など) やバイオ応用への研究に新規参入したいと考える工学系研究者(電気、機械など)向けのチュートリアル的なセミナー講演と実習を行い、プラットフォームの利用を通じた新しい分野融合研究開発の進展に寄与することを目的とします。関係の多くの皆様のご参加をお待ちしております。
セミナーは、座学コースと実習コースがあり、実習コース受講には座学コース受講が条件となります。(実習コースのみの受講は出来ません)

フライヤー(pdf)

概要

開催日時 <座学コース>
2018年 10月 12日(金) 13:00~17:00
<実習コース>
各実施機関にて実施 (日程はプログラムをご確認ください)
場所 <座学コース>
1)本会場:東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 1F セミナー室
2)TV会場:北海道大学、東北大学、豊田工業大学、京都大学、大阪大学、広島大学、山口大学
※TV会場ではWebEXを利用し、東京大学本会場のセミナーをTV中継します。
<実習コース>
各実施機関の拠点にて実施(プログラムをご確認ください)
募集人数 <座学コース>
40人 (東京大学本会場)+ TV会場
※TV会場の定員については事務局までお問い合わせください。
<実習コース>
数人程度/各コース (プログラムをご確認ください)
参加申し込み http://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/bio-nanomicrodevice.html
※実習に参加ご希望の方は、参加申込みフォームの「その他」欄に参加したい実習番号および実習名を記載してください。
座学コース
プログラム
13:00~13:05 開会あいさつ

<微細加工PF代表機関>

13:05~14:05 基調講演「バイオに役立つMEMSチップの作り方と使い方」

<藤田 博之 (代表機関)>

<休憩10分>
14:15~14:45 研究事例紹介①
「シリコンリングおよびフォトニック結晶共振器バイオセンサー
~抗原・抗体反応の新規検出法~」

<横山 新 (広島大学) >

14:45~15:15 研究事例紹介②
「バイオデバイスの基盤技術と開発
~1つの遺伝子・ウイルス・細菌を識別する技術~」

<谷口 正輝 (大阪大学) >

15:15~15:45 研究事例紹介③
「3次元微細加工を使ったバイオ計測用流体デバイスの開発
~小さなチップで生体内を模倣する~」

<平井 義和(京都大学) >

<休憩10分>
15:55~17:00 「文科省ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFの概要ご紹介
/各実施機関のご紹介(各拠点の施設紹介、実習コースの紹介)」

<微細加工PF・代表機関コーディネータ/各実施機関>

実施機関の紹介:産業技術総合研究所、東京大学、東京工業大学、早稲田大学、豊田工業大学、大阪大学、広島大学
実習コース
プログラム
【基礎的な微細加工プロセス実習(無料)】
①レーザー描画装置を用いたシリコンモールド作製実習
レーザー描画装置とドライエッチング装置を用いたマイクロ流路等のシリコンモールド作製方法について実習を行います。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(2日間)
定員:2名
実施場所:北海道大学(北海道札幌市)

②マスクレス露光(基本プロセス)
マスクレス露光プロセスの概要からパターン設計、重ね合わせ有り無し露光に関する講義及び実習を行います。マスクレス露光未経験の方におすすめのプログラムです。
日程:11月7日(水)(1日間)
定員:最大3名
実施場所:物質・材料研究機構(茨城県つくば市)

③マスクレス露光(3次元露光)
マスクレス露光装置を用いた3次元露光(グレースケール露光)に関する講義及び実習を行います。マスクレス露光装置の経験がある方で3次元露光に興味のある方におすすめのプログラムです。
日程:11月21日(水)(1日間)
定員:最大3名
実施場所:物質・材料研究機構(茨城県つくば市)

④初心者のための電子ビーム露光を使った微細加工実習
電子ビーム露光によるレジストパターン形成とリアクティブイオンエッチングによるシリコン基板の加工を行った後、加工パターンの走査電子顕微鏡観察を行い、一連の微細加工プロセスを習得します。
日程:10月30日(火)~31日(水)(2日間)
定員:2名
実施場所:産業技術総合研究所(茨城県つくば市)

⑤FIB-SEMを用いた有機系材料の断面観察
FIB-SEMを用いて有機系材料の加工、断面の観察を行います。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(1日間)
定員:最大3名
実施場所:筑波大学(茨城県つくば市)

⑥UVレーザーによるフレキシブル/透明電極の直接加工
バイオ分野で重宝されるフレキシブル電極や透明電極を直接加工する方法として、UV(紫外線)レーザーによる直接加工が注目されています。東京大学拠点の公開装置を利用して電極加工を行なってみましょう。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(1日間)
定員:5名
実施場所:東京大学(東京都文京区)

⑦電子線露光装置の露光実習
電子線露光装置(JEOL JBX-6300SJ)を用いた微細パターン露光プロセスの実習を行います。その中で近接効果の評価及びその補正について議論します。
日程:12月6日(木)、7日(金) (1日間×2)
定員:最大2名/日(計4名)
実施場所:東京工業大学(東京都目黒区)

⑧レーザー描画装置を用いたマイクロデバイス用マスク作製とフォトリソグラフィ実習
CADパターン設計、レーザー描画装置を用いたフォトリソグラフィ用マスク作製、フォトリソグラフィによるレジストパターン形成を行い、マイクロデバイス作製のための基礎技術を身につけます。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(1日間:11月上旬頃)
定員:最大3名
実施場所:名古屋大学(愛知県名古屋市)

⑨ヘリウムイオン顕微鏡による生物試料観察と加工
SEMと比べて被写界深度が深いヘリウムイオン顕微鏡は立体的な生体試料の観察や加工に適しています。実習コースでは簡単な生体試料のナノ加工と観察を行います。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(2日間)
定員:2名
実施場所:大阪大学(大阪府吹田市)

⑩マスクレス露光装置を用いたマイクロ流路作製
流路を設計後、マスクレス露光装置及び深掘りエッチング装置を用いて流路鋳型を作製し、それをPDMS へ転写することでマイクロ流路の作製を行います。
日程:2019年1月9日(水)~10日(金)(2日間)
定員:最大4名
実施場所:広島大学(広島県東広島市)

⑪厚膜レジスト(SU-8)を用いた露光プロセス実習
マイクロ流路作製等に用いられるSU-8を用いた 一連の露光プロセスの実習を行います。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。 (1日間:11月上旬頃)
定員:2名
実施場所:山口大学(山口県宇部市)

【アドバンスド実習(有料)】
⑫レーザー描画、サンドブラストによるガラス基板の微細加工
マイクロ流路、貫通孔などの希望される形状をガラス基板に加工します。レーザー描画装置を用いて形成したレジストパターンをマスクとして、サンドブラストによりガラス基板を微細加工します。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(1日間)
定員:5名程度
参加費:2万円
実施場所:東北大学(宮城県仙台市)

⑬マイクロドロップレット生成用マイクロ流路作製実習
比較的容易に利用できる紫外線露光装置を用いたリソグラフィでモールドを作製し、それをシリコーンゴムに転写することでマイクロ流路の作製を行い、実際に溶液を流して観察し、マイクロドロップレットの作製方法について学びます。
日程:12月12日(水)~14日(金)(3日間:14日は13:00くらいで終了予定) 
定員:最大5名
参加費:5万円(作ったデバイスは持って帰ってもらいます。日程の都合上マスクは早稲田で準備します。)
実施場所:早稲田大学(東京都新宿区)

⑭微細構造による撥水効果
マスクレス露光装置を中心に、微細パターンの転写によってリソグラフィの基礎を習得します。ハスの葉の凹凸構造に似せた微細パターンをデザインして形成し、撥水効果を確認・評価します。
日程:日程は後日受講希望者と調整します。(2日間:2月後半から3月)
定員:5名
参加費:企業3万円、大学等1万円
実施場所:豊田工業大学(愛知県名古屋市)

⑮グレースケール露光によるマイクロバルブ/ポンプの作製
マスクレス露光装置等を用いて、PDMS製マイクロ流体デバイス向けバルブ/ポンプを作製します。
日程:12月12日(水)~14日(金)(3日間)
定員:3名
参加費:2万円
実施場所:京都大学(京都市)

⑯流路付加バイオセンサーの作製・測定
MOSFETと流路を組み合わせたバイオセンサーの作製・測定の実習を行います。スライドガラス上にPDMSで作製した流路、及びMOSFETのチップを貼りつけ、検体模擬水溶液を流してpHセンシングを行います。
日程:2019年1月9日(水)~11日(金)(3日間)
定員:最大4名
参加費:3万円
実施場所:広島大学(広島県東広島市)

お問合せ先

微細加工プラットフォーム・コーディネーター
TEL: 075-753-5656
Email: nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください